レーザーカッティング/レーザークリーニング/有機EL/液晶

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製品紹介

<FPD 用製造装置>
・有機 EL 製造装置
・TFT液晶製造装置
・カラーフィルター製造装置
・FED 製造装置
・PDP 製造装置
<半導体用製造装置>
・各種半導体製造装置
・MEMS特殊搬送装置

■研究用〜生産用までニーズに合った装置を提供しています

■洗浄装置
■コーター
■ベーク
■減圧乾燥、 EBR 、 HMDS
■現像装置
■エッチング
■インラインシステム
■クラスターシステム

【開発中装置】
■レーザー剥離装置
■研磨洗浄装置
■高分子用真空ベーク

プリンタ出力用画面


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