| ■コーター |
| 様々な薬液を液質にあった方式で塗布します。 |
| ■特徴 | ■仕様 |
| ・小型〜大型までの基板サイズに対応 ・用途に合わせて機能を追加 ・スペースに合わせて省スペース化 ・各種レシピが選択 ・省液化 |
・スピンコーター ・スリット＆スピンコーター・スリットコーター ・スプレーコーター ・インラインタイプ ・ロールコーター |
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 インラインタイプ |
レーザーカッティング/レーザークリーニング/有機EL/液晶 |
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