レーザーカッティング/レーザークリーニング/有機EL/液晶

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■洗浄装置
基板表面のパーティクル、有機物、無機物、不純物などの歩留り低下の原因となる汚染物を除去します

■特徴 ■仕様
・小型〜大型までの基板サイズに対応
・用途に合わせて機能を追加
・スペースに合わせて省スペース化
・各種レシピが選択
・スピン洗浄
・ブラシ洗浄
・US/MS 洗浄
・高圧洗浄
・機能水洗浄
・インラインタイプ


スピン洗浄


多機能洗浄


インラインタイプ

プリンタ出力用画面


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